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양자팹 소개

개요

Quantum-Nano FAB Center

소속 구분 인원(명) 위치 클린룸
울산과학기술원
연구장비교육·지원처
공정가공지원팀		 양자나노팹
총괄(팀장) : 1
공정 전담 : 9
울산과학기술원
108동 B1
 면적 청정도 온도 습도
1,300 ㎡
(서브팹 1,300 ㎡)
1000 class /
100 class
 22 ℃ 55 %

  • Wet station
    Acid I Solvent I Alkali
  • Thinfilm & Etch
    P-CVD I ALD I
    CCP etcher
  • Diffusion
    Wet & Dry furnace
  • Packaging
    Dicing saw I CMP
  • Photo
    Photo lithography
    Spin coater & Bake
  • Thinfilm
    PVD I Sputter I
    E-beam evaporator
  • Thinfilm & Etch
    Sputter I ICP-RIE
  • Etch
    RIE I Deep etcher
  • Photo
    Photo lithography
  • Sub-Fab
    Utility I Vacuum pump
    Exhaust system Scrubber

사용자 중심의 개방형 팹 운영

해당 교육 선택 / 신청
  • 경력 : 최소 5년 ~ 최대 28년
  • 석/박사 이상 50%
  • 연구장비 기술 지원, 교육, 시설관리
검증된 Self-User 시스템
  • 연간 19,000건 이상 직접 사용
  • 가동시간 기준, 사용자 직접 ( 자율 ) 장비 사용률 80.8% ( 2025년 )
  • 24시간 직접 사용 가능
안전 관리 강화
  • 월 2회 안전교육 진행
  • 안전 모니터링, 출입통제 시스템 운영
  • 일과 외 이용 시, 2인 1조 출입 및 사전 승인 필수
인프라 고도화
  • 연구 장비 현황 ( 2025년 기준 ) : 60여종 200억원
  • 2024년 개방형 양자공정 인프라 구축 과제 선정 : 200억원 규모의 공동활용 연구장비 인프라 구축 진행중( ~2031년 )
체계적 교육 프로그램
  • 개별 장비 주 1회 정기교육 ( 389회, 2025년 )
  • 필요시 수시교육
  • 총 1,435회 진행/2025년 ( 전년 대비 283회 증가 )
외부 사용자 지원
  • 원거리 외부연구자 체류 ( 게스트 하우스 ) 사용 지원
  • 사무 공간 및 대기 장소 제공
  • 장비 예약 시스템, 장비 사용 교육
  • 자격 획득 시, 장비 직접 사용 가능

시설·장비 / 지원체계


Control Room


Tour Course


Tour Course


Smock Room


Corridor


Wet Room


Yellow Room #1


Yellow Room #2


Yellow Room #3


White room #1


White room #2


White room #3


White room #4


White room #5


Sub Fab

리소그래피 공정
MEMS / NEMS 패턴 형성 및 lift-off 전 공정
박막 증착 및 식각 공정
비금속의 절연 박막 ( 산화막, 질화막, 유전박막 등 ) 증착 및 건식 식각 구조물 형성

소자 특성 측정
자체 제작 시편으로 접촉 / 비접촉 / 전기적 특성 / 이미지 측정 및 분석

습식 세정 공정
화학약품 이용, 시편 표면 세정 및 습식 식각