양자팹 소개
조직
국가 양자팹 인프라 사업 운영위원회
- 정일석 (위원장)
- 권민석 (운영위원)
- 김제형 (운영위원)
- 박기복 (운영위원)
- 이종원 (운영위원)
- 서관용 (연구장비교육·지원처장)
- 이경선 (공정가공지원팀장)
분과 별 전문 Staff
| 구분 | 성명 | 대표장비 |
|---|---|---|
| 박막 | 김형일 | Sputtering system(DC, RF, HSC) |
| 강해라 | LP-CVD(Poly/Nitride, TEOS), Furnace(Wet, Dry), PECVD, AFM | |
| 김보성 | E-beam evaporator, ALD, PECVD | |
| 식각 | 김강오 | ICP Etcher, RIE(Metal, Dielectric), CCP etcher, RTP, Surface profiler |
| 김민재 | Dielectric ICP etcher, Metal etcher, FIB NX2000 | |
| 이선진 | Deep Si etcher, NLD etcher, Dicing Saw, CMP | |
| 포토 | 이루다 | E-beam lithography(JEOL, NBL) |
| 황은정 | Laser lithography Probe station, Wire bonder, Photoresist Track system | |
| 이송희 | E-beam lithography #attached, Mask aligner(MA6, MDA-400S) |
