기보유 장비

E-Beam evaporator 1

• FIELDThinfilm
• MODELFC-2000
• MAKERTemescal

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E-Beam evaporator 2

• FIELDThinfilm
• MODELWC-4000
• MAKERWOOSUNG Hi-vac

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RF Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-120
• MAKERSORONA

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DC Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-120
• MAKERSORONA

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HSC Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-130
• MAKERSORONA

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Thermal ALD

• FIELDThinfilm
• MODELLucida D100
• MAKERNCD

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Cluster ALD

• FIELDThinfilm
• MODELAtomic premium
• MAKERCN1

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PE-CVD 1

• FIELDThinfilm
• MODELPEH-600
• MAKERSORONA

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PE-CVD 2

• FIELDThinfilm
• MODELPEH-600
• MAKERSORONA

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PE-CVD 2 ( SiC )

• FIELDThinfilm
• MODELFABStar+
• MAKERTTL

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Auto parylene coater

• FIELDThinfilm
• MODELNRPC-500
• MAKERNuriTech

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LP-CVD ( Nit, Poly )

• FIELDThinfilm
• MODELKVL-206
• MAKERKSM

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LP-CVD ( TEOS )

• FIELDThinfilm
• MODELVULCAN-V61RL
• MAKERLEAD Engineering

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