기보유 장비

Mask aligner 1

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• MODELMA/BA6-8
• MAKERSuss Microtec

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E-Beam lithography 2 ( FE-SEM attachment )

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• MODELSU5000 / ELPHY Multibeam
• MAKERRaith

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E-Beam lithography 1

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• MODELNB3
• MAKERNBL

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Mask aligner 2

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• MODELMA6
• MAKERSuss Microtec

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Mask aligner 3

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• MODELMDA-400S
• MAKERMIDAS

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Maskless laser writer

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• MODELPicomaster200
• MAKERRaith

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Track

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• MODELSSP200
• MAKERSVS

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Spin coater

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• MODELSPIN-3000A
• MAKERMIDAS

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