기보유 장비

Dielectric RIE

• FIELDEtching
• MODELLabstar
• MAKERTTL

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Metal ICP 2

• FIELDEtching
• MODELICP380
• MAKEROxford instruments

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Metal ICP 1

• FIELDEtching
• MODELFABStar
• MAKERTTL

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Dielectric ICP

• FIELDEtching
• MODELFABstar
• MAKERTTL

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CCP Etcher

• FIELDEtching
• MODELTelius
• MAKERTEL

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Deep RIE

• FIELDEtching
• MODELTegal 200
• MAKERTegal France

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Plasma Treatment

• FIELDEtching
• MODELV15-G
• MAKERPlasma Finish

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PR Stripper

• FIELDEtching
• MODELPTP300
• MAKERPINK

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Wet station_Acid 1

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Acid 2

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Acid 3

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station Alkari

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Solvent 1

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Solvent 2

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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