기보유 장비

Mask aligner 1

• FIELDPhoto
• MODELMA/BA6-8
• MAKERSuss Microtec

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E-Beam lithography 2 ( FE-SEM attachment )

• FIELDPhoto
• MODELSU5000 / ELPHY Multibeam
• MAKERRaith

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E-Beam lithography 1

• FIELDPhoto
• MODELNB3
• MAKERNBL

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Mask aligner 2

• FIELDPhoto
• MODELMA6
• MAKERSuss Microtec

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Mask aligner 3

• FIELDPhoto
• MODELMDA-400S
• MAKERMIDAS

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Maskless laser writer

• FIELDPhoto
• MODELPicomaster200
• MAKERRaith

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Track

• FIELDPhoto
• MODELSSP200
• MAKERSVS

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Spin coater

• FIELDPhoto
• MODELSPIN-3000A
• MAKERMIDAS

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Dielectric RIE

• FIELDEtching
• MODELLabstar
• MAKERTTL

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Metal ICP 2

• FIELDEtching
• MODELICP380
• MAKEROxford instruments

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Metal ICP 1

• FIELDEtching
• MODELFABStar
• MAKERTTL

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Dielectric ICP

• FIELDEtching
• MODELFABstar
• MAKERTTL

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CCP Etcher

• FIELDEtching
• MODELTelius
• MAKERTEL

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Deep RIE

• FIELDEtching
• MODELTegal 200
• MAKERTegal France

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Plasma Treatment

• FIELDEtching
• MODELV15-G
• MAKERPlasma Finish

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PR Stripper

• FIELDEtching
• MODELPTP300
• MAKERPINK

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Wet station_Acid 1

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Acid 2

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Acid 3

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station Alkari

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Solvent 1

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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Wet station_Solvent 2

• FIELDEtching
• MODELWet station
• MAKERDonghoon tech

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E-Beam evaporator 1

• FIELDThinfilm
• MODELFC-2000
• MAKERTemescal

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E-Beam evaporator 2

• FIELDThinfilm
• MODELWC-4000
• MAKERWOOSUNG Hi-vac

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RF Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-120
• MAKERSORONA

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DC Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-120
• MAKERSORONA

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HSC Sputter

• FIELDThinfilm
• MODELSRN-130
• MAKERSORONA

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Thermal ALD

• FIELDThinfilm
• MODELLucida D100
• MAKERNCD

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Cluster ALD

• FIELDThinfilm
• MODELAtomic premium
• MAKERCN1

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PE-CVD 1

• FIELDThinfilm
• MODELPEH-600
• MAKERSORONA

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PE-CVD 2

• FIELDThinfilm
• MODELPEH-600
• MAKERSORONA

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PE-CVD 2 ( SiC )

• FIELDThinfilm
• MODELFABStar+
• MAKERTTL

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Auto parylene coater

• FIELDThinfilm
• MODELNRPC-500
• MAKERNuriTech

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Furnace ( Dry )

• FIELDDiffusion
• MODELKHD-306
• MAKERKSM

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Furnace ( Wet )

• FIELDDiffusion
• MODELKHD-306
• MAKERKSM

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LP-CVD ( Nit, Poly )

• FIELDThinfilm
• MODELKVL-206
• MAKERKSM

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LP-CVD ( TEOS )

• FIELDThinfilm
• MODELVULCAN-V61RL
• MAKERLEAD Engineering

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RTP

• FIELDDiffusion
• MODELAW610
• MAKERAllwin21

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Dicing saw

• FIELDPackaging
• MODELNDS-1012
• MAKERNeonTech

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CMP

• FIELDPackaging
• MODELORBIS
• MAKERLogitech

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Lapping

• FIELDPackaging
• MODELLP70
• MAKERLogitech

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Wire bonder

• FIELDPackaging
• MODELHB05
• MAKERTPT

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Surface profiler

• FIELDMeasurement
• MODELP6
• MAKERKLA Tencor

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3D profiler

• FIELDMeasurement
• MODELMicroXAM-800
• MAKERKLA

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Inspection Microscope

• FIELDMeasurement
• MODELDM 4000M
• MAKERLEICA Microsystems

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Measurement Microscope

• FIELDMeasurement
• MODELAxio Scope A1
• MAKERZEISS

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Ellipsometer

• FIELDMeasurement
• MODELElli-SE-UaM8
• MAKERElipso Technology

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Probe station

• FIELDMeasurement
• MODELCRX-4K
• MAKERLakeshore

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4 point probe

• FIELDMeasurement
• MODELCMT2000N
• MAKERAIT

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Thickness measure

• FIELDMeasurement
• MODELST4000-DLX
• MAKERK-MAC

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Normal SEM

• FIELDMeasurement
• MODELS-3400N ( Type Ⅱ )
• MAKERHitach High-Technologies

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AFM

• FIELDMeasurement
• MODELMultiMode V
• MAKERVeeco

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FIB

• FIELDMeasurement
• MODELNX2000
• MAKERHitachi

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Cold FE-SEM

• FIELDElectron Microscop
• MODELS-4800
• MAKERHitachi High-Technologies

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CS-STEM

• FIELDElectron Microscop
• MODELJEM-ARM300F
• MAKERJEOL

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XPS

• FIELDSurface Analysis
• MODELK-alpha
• MAKERThermoFisher

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