양자나노팹
양자팹 소개
인사말
조직
개요
통계
보유장비
기보유 장비
양자 인프라 장비
장비교육
자율사용 이용안내
클린룸 교육 안내
제작 의뢰
단위공정
일괄공정
편의사항
게스트룸 안내
게스트룸 신청
참여공간
공지사항
오시는 길
문의하기
양자팹 소개
인사말
조직
개요
통계
보유장비
기보유 장비
양자 인프라 장비
장비교육
자율사용 이용안내
클린룸 교육 안내
제작 의뢰
단위공정
일괄공정
편의사항
게스트룸 안내
게스트룸 신청
참여공간
공지사항
오시는 길
문의하기
ENG
보유장비
기보유 장비_old
기보유 장비
양자 인프라 장비
ALL
Photo
Etching
Thinfilm
Diffusion
Packaging
Measurement
Electron Microscopy
Surface Analysis
E-Beam lithography 1
FIELD
Photo
MODEL
NB3
MAKER
NBL
장비사용 예약하기
E-Beam lithography 2 ( FE-SEM attachment )
FIELD
Photo
MODEL
SU5000 / ELPHY Multibeam
MAKER
Raith
장비사용 예약하기
Mask aligner 1
FIELD
Photo
MODEL
MA/BA6-8
MAKER
Suss Microtec
장비사용 예약하기
Mask aligner 2
FIELD
Photo
MODEL
MA6
MAKER
Suss Microtec
장비사용 예약하기
Mask aligner 3
FIELD
Photo
MODEL
MDA-400S
MAKER
MIDAS
장비사용 예약하기
Maskless laser writer
FIELD
Photo
MODEL
Picomaster200
MAKER
Raith
장비사용 예약하기
Track
FIELD
Photo
MODEL
SSP200
MAKER
SVS
장비사용 예약하기
Spin coater
FIELD
Photo
MODEL
SPIN-3000A
MAKER
MIDAS
장비사용 예약하기
Dielectric RIE
FIELD
Etching
MODEL
Labstar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Metal ICP 1
FIELD
Etching
MODEL
FABStar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Metal ICP 2
FIELD
Etching
MODEL
ICP380
MAKER
Oxford instruments
장비사용 예약하기
Dielectric ICP
FIELD
Etching
MODEL
FABstar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
CCP Etcher
FIELD
Etching
MODEL
Telius
MAKER
TEL
장비사용 예약하기
Deep RIE
FIELD
Etching
MODEL
Tegal 200
MAKER
Tegal France
장비사용 예약하기
Plasma Treatment
FIELD
Etching
MODEL
V15-G
MAKER
Plasma Finish
장비사용 예약하기
PR Stripper
FIELD
Etching
MODEL
PTP300
MAKER
PINK
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 1
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 2
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 3
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station Alkari
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Solvent 1
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Solvent 2
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
E-Beam evaporator 1
FIELD
Thinfilm
MODEL
FC-2000
MAKER
Temescal
장비사용 예약하기
E-Beam evaporator 2
FIELD
Thinfilm
MODEL
WC-4000
MAKER
WOOSUNG Hi-vac
장비사용 예약하기
RF Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-120
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
DC Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-120
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
HSC Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-130
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
Thermal ALD
FIELD
Thinfilm
MODEL
Lucida D100
MAKER
NCD
장비사용 예약하기
Cluster ALD
FIELD
Thinfilm
MODEL
Atomic premium
MAKER
CN1
장비사용 예약하기
PE-CVD 1
FIELD
Thinfilm
MODEL
PEH-600
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
PE-CVD 2
FIELD
Thinfilm
MODEL
PEH-600
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
PE-CVD 2 ( SiC )
FIELD
Thinfilm
MODEL
FABStar+
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Auto parylene coater
FIELD
Thinfilm
MODEL
NRPC-500
MAKER
NuriTech
장비사용 예약하기
Furnace ( Dry )
FIELD
Diffusion
MODEL
KHD-306
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
Furnace ( Wet )
FIELD
Diffusion
MODEL
KHD-306
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
LP-CVD ( Nit, Poly )
FIELD
Thinfilm
MODEL
KVL-206
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
LP-CVD ( TEOS )
FIELD
Thinfilm
MODEL
VULCAN-V61RL
MAKER
LEAD Engineering
장비사용 예약하기
RTP
FIELD
Diffusion
MODEL
AW610
MAKER
Allwin21
장비사용 예약하기
Dicing saw
FIELD
Packaging
MODEL
NDS-1012
MAKER
NeonTech
장비사용 예약하기
CMP
FIELD
Packaging
MODEL
ORBIS
MAKER
Logitech
장비사용 예약하기
Lapping
FIELD
Packaging
MODEL
LP70
MAKER
Logitech
장비사용 예약하기
Wire bonder
FIELD
Packaging
MODEL
HB05
MAKER
TPT
장비사용 예약하기
Surface profiler
FIELD
Measurement
MODEL
P6
MAKER
KLA Tencor
장비사용 예약하기
3D profiler
FIELD
Measurement
MODEL
MicroXAM-800
MAKER
KLA
장비사용 예약하기
Inspection Microscope
FIELD
Measurement
MODEL
DM 4000M
MAKER
LEICA Microsystems
장비사용 예약하기
Measurement Microscope
FIELD
Measurement
MODEL
Axio Scope A1
MAKER
ZEISS
장비사용 예약하기
Ellipsometer
FIELD
Measurement
MODEL
Elli-SE-UaM8
MAKER
Elipso Technology
장비사용 예약하기
Probe station
FIELD
Measurement
MODEL
CRX-4K
MAKER
Lakeshore
장비사용 예약하기
4 point probe
FIELD
Measurement
MODEL
CMT2000N
MAKER
AIT
장비사용 예약하기
Thickness measure
FIELD
Measurement
MODEL
ST4000-DLX
MAKER
K-MAC
장비사용 예약하기
Normal SEM
FIELD
Measurement
MODEL
S-3400N ( Type Ⅱ )
MAKER
Hitach High-Technologies
장비사용 예약하기
AFM
FIELD
Measurement
MODEL
MultiMode V
MAKER
Veeco
장비사용 예약하기
FIB
FIELD
Measurement
MODEL
NX2000
MAKER
Hitachi
장비사용 예약하기
Cold FE-SEM
FIELD
Electron Microscopy
MODEL
S-4800
MAKER
Hitachi High-Technologies
장비사용 예약하기
CS-STEM
FIELD
Electron Microscopy
MODEL
JEM-ARM300F
MAKER
JEOL
장비사용 예약하기
XPS
FIELD
Surface Analysis
MODEL
K-alpha
MAKER
ThermoFisher
장비사용 예약하기
E-Beam lithography 1
FIELD
Photo
MODEL
NB3
MAKER
NBL
장비사용 예약하기
E-Beam lithography 2 ( FE-SEM attachment )
FIELD
Photo
MODEL
SU5000 / ELPHY Multibeam
MAKER
Raith
장비사용 예약하기
Mask aligner 1
FIELD
Photo
MODEL
MA/BA6-8
MAKER
Suss Microtec
장비사용 예약하기
Mask aligner 2
FIELD
Photo
MODEL
MA6
MAKER
Suss Microtec
장비사용 예약하기
Mask aligner 3
FIELD
Photo
MODEL
MDA-400S
MAKER
MIDAS
장비사용 예약하기
Maskless laser writer
FIELD
Photo
MODEL
Picomaster200
MAKER
Raith
장비사용 예약하기
Track
FIELD
Photo
MODEL
SSP200
MAKER
SVS
장비사용 예약하기
Spin coater
FIELD
Photo
MODEL
SPIN-3000A
MAKER
MIDAS
장비사용 예약하기
Dielectric RIE
FIELD
Etching
MODEL
Labstar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Metal ICP 1
FIELD
Etching
MODEL
FABStar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Metal ICP 2
FIELD
Etching
MODEL
ICP380
MAKER
Oxford instruments
장비사용 예약하기
Dielectric ICP
FIELD
Etching
MODEL
FABstar
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
CCP Etcher
FIELD
Etching
MODEL
Telius
MAKER
TEL
장비사용 예약하기
Deep RIE
FIELD
Etching
MODEL
Tegal 200
MAKER
Tegal France
장비사용 예약하기
Plasma Treatment
FIELD
Etching
MODEL
V15-G
MAKER
Plasma Finish
장비사용 예약하기
PR Stripper
FIELD
Etching
MODEL
PTP300
MAKER
PINK
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 1
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 2
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Acid 3
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station Alkari
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Solvent 1
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
Wet station_Solvent 2
FIELD
Etching
MODEL
Wet station
MAKER
Donghoon tech
장비사용 예약하기
E-Beam evaporator 1
FIELD
Thinfilm
MODEL
FC-2000
MAKER
Temescal
장비사용 예약하기
E-Beam evaporator 2
FIELD
Thinfilm
MODEL
WC-4000
MAKER
WOOSUNG Hi-vac
장비사용 예약하기
RF Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-120
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
DC Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-120
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
HSC Sputter
FIELD
Thinfilm
MODEL
SRN-130
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
Thermal ALD
FIELD
Thinfilm
MODEL
Lucida D100
MAKER
NCD
장비사용 예약하기
Cluster ALD
FIELD
Thinfilm
MODEL
Atomic premium
MAKER
CN1
장비사용 예약하기
PE-CVD 1
FIELD
Thinfilm
MODEL
PEH-600
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
PE-CVD 2
FIELD
Thinfilm
MODEL
PEH-600
MAKER
SORONA
장비사용 예약하기
PE-CVD 2 ( SiC )
FIELD
Thinfilm
MODEL
FABStar+
MAKER
TTL
장비사용 예약하기
Auto parylene coater
FIELD
Thinfilm
MODEL
NRPC-500
MAKER
NuriTech
장비사용 예약하기
LP-CVD ( Nit, Poly )
FIELD
Thinfilm
MODEL
KVL-206
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
LP-CVD ( TEOS )
FIELD
Thinfilm
MODEL
VULCAN-V61RL
MAKER
LEAD Engineering
장비사용 예약하기
Furnace ( Dry )
FIELD
Diffusion
MODEL
KHD-306
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
Furnace ( Wet )
FIELD
Diffusion
MODEL
KHD-306
MAKER
KSM
장비사용 예약하기
RTP
FIELD
Diffusion
MODEL
AW610
MAKER
Allwin21
장비사용 예약하기
Dicing saw
FIELD
Packaging
MODEL
NDS-1012
MAKER
NeonTech
장비사용 예약하기
CMP
FIELD
Packaging
MODEL
ORBIS
MAKER
Logitech
장비사용 예약하기
Lapping
FIELD
Packaging
MODEL
LP70
MAKER
Logitech
장비사용 예약하기
Wire bonder
FIELD
Packaging
MODEL
HB05
MAKER
TPT
장비사용 예약하기
Surface profiler
FIELD
Measurement
MODEL
P6
MAKER
KLA Tencor
장비사용 예약하기
3D profiler
FIELD
Measurement
MODEL
MicroXAM-800
MAKER
KLA
장비사용 예약하기
Inspection Microscope
FIELD
Measurement
MODEL
DM 4000M
MAKER
LEICA Microsystems
장비사용 예약하기
Measurement Microscope
FIELD
Measurement
MODEL
Axio Scope A1
MAKER
ZEISS
장비사용 예약하기
Ellipsometer
FIELD
Measurement
MODEL
Elli-SE-UaM8
MAKER
Elipso Technology
장비사용 예약하기
Probe station
FIELD
Measurement
MODEL
CRX-4K
MAKER
Lakeshore
장비사용 예약하기
4 point probe
FIELD
Measurement
MODEL
CMT2000N
MAKER
AIT
장비사용 예약하기
Thickness measure
FIELD
Measurement
MODEL
ST4000-DLX
MAKER
K-MAC
장비사용 예약하기
Normal SEM
FIELD
Measurement
MODEL
S-3400N ( Type Ⅱ )
MAKER
Hitach High-Technologies
장비사용 예약하기
AFM
FIELD
Measurement
MODEL
MultiMode V
MAKER
Veeco
장비사용 예약하기
FIB
FIELD
Measurement
MODEL
NX2000
MAKER
Hitachi
장비사용 예약하기
Cold FE-SEM
FIELD
Electron Microscopy
MODEL
S-4800
MAKER
Hitachi High-Technologies
장비사용 예약하기
CS-STEM
FIELD
Electron Microscopy
MODEL
JEM-ARM300F
MAKER
JEOL
장비사용 예약하기
XPS
FIELD
Surface Analysis
MODEL
K-alpha
MAKER
ThermoFisher
장비사용 예약하기
Close